Femto光纤飞秒激光器_1035/517nm超快脉冲激光
Femto系列飞秒激光器是Huaray自主研发生产的稳定可靠的超快激光器产品，是GJ重点研发计划专项研发成果。采用全光纤放大结构，光、电一体化设计，脉宽小于350 fs，支持10μJ/50μJ/200μJ/400μJ。选配SHG模块，可支持517nm，红外/绿光双波段输出。该产品可广泛应用于半导体晶圆加工、陶瓷与聚合物加工、金刚石加工、新能源材料加工、难加工金属加工、高分子材料加工与处理等领域。也可用于：生物光子学和光遗传学、多光子显微成像、双光子聚合、太赫兹应用、超快光谱学、超快激光放大等科研领域。
产品特点：
脉宽小于 350 fs，支持更多脉宽选择
单脉冲能量高达 200 μJ
支持多种 Burst Mode 组合
包含脉冲选择器，用于按需脉冲分频
坚固耐用的工业化一体设计
可选装 SHG 模块以支持绿光输出
加工领域：
半导体晶圆加工
陶瓷与聚合物加工
金刚石加工
新能源材料加工
难加工金属加工
高分子材料加工与处理
硬脆性材料切割、钻孔、焊接
金属材料微、高分子材料加工
复合薄膜材料加工
新能源材料加工
医疗器械制造
光纤光栅刻写加工
科研领域：
微纳米结构加工
生物光子学和光遗传学
多光子显微成像
双光子聚合
太赫兹应用
超快光谱学
超快激光放大
参数指标：
| 型号 | Femto 10-1035 | Femto 10-517 | Femto 10-517-B | Femto 50-1035 | Femto 50-517 | Femto 200-1035 | Femto 200-517 | Femto 200-1035 | Femto 200-517 | Femto 400-1035 |
| 中心波长 | 1035 nm | 517 nm | 1035 nm | 1035 nm | 517nm | 1035 nm | 517nm | 1035 nm | 517nm | 1035 nm |
| 输出功率 | 10 W | 4 W | 10 W | 40 W | 15 W | 40 W | 15 W | 60 W | 20 W | 60 W |
| 最大单脉冲能量 | 10 μJ | 4 μJ | 10 μJ | 50 μJ | 20 μJ | 200 μJ | 75 μJ | 80 μJ | 30 μJ | 400 μJ |
| 最大脉冲串能量 | ~ | 200 μJ | ~ | ~ | ~ | 320 μJ | ~ | 1 mJ | ||
| 重复频率 | Single-Shot to 1 MHz | Single-Shot to 1 MHz | Single-Shot to 1 MHz | Single-Shot to 800 kHz | Single-Shot to 800 kHz | Single-Shot to 200 kHz | Single-Shot to 200 kHz | Single-Shot to 750 kHz | Single-Shot to 750 kHz | Single-Shot to150 kHz |
| 脉冲宽度 | <300 fs to 10 ps | <300 fs to 10 ps | <500 fs | <350 fs to 10 ps | <350 fs to 10 ps | <350 fs to 10 ps | <350 fs to 10 ps | <350 fs to 10 ps | <350 fs to 10 ps | <350 fs to 10 ps |
| 光束质量 | M²≤1.3 (Typical <1.2) | M²≤1.3 (Typical <1.2) | M²≤1.3 (Typical <1.2) | M²≤1.3 (Typical <1.2) | M²≤1.3 (Typical <1.2) | M²≤1.3 (Typical <1.2) | M²≤1.3 (Typical <1.2) | M²≤1.3 (Typical <1.2) | M²≤1.3 (Typical <1.2) | M²≤1.3 (Typical <1.2) |
| 光束发散角 | <1 mrad, 2θ | <1 mrad, 2θ | <1 mrad, 2θ | <1 mrad, 2θ | <1 mrad, 2θ | <1 mrad,2θ | <1 mrad, 2θ | <1 mrad,2θ | <1 mrad, 2θ | <1 mrad,2θ |
| 光斑圆度 | ≥90% | ≥90% | ≥90% | ≥90% | ≥90% | ≥85% | ≥85% | ≥85% | ≥85% | ≥85% |
| 光斑直径 | 3±1 mm, 1/e² | 3±1 mm, 1/e² | 3±1 mm, 1/e² | 3±1 mm, 1/e² | 3±1 mm, 1/e² | 3±1 mm, 1/e² | 3±1 mm, 1/e² | 3±1 mm, 1/e² | 3±1 mm, 1/e² | 3±1 mm, 1/e² |
| 偏振态 | Linear | Linear | Linear | Linear | Linear | Linear | Linear | Linear | Linear | Linear |
| 功率稳定性 | <2% RMS | <2% RMS | <2% RMS | <2% RMS | <2% RMS | <2% RMS | <2% RMS | <2% RMS | <2% RMS | <2% RMS |
| 工作温度 | 10 to 30 °C | 10 to 30 °C | 10 to 40 °C | 10 to 30 °C | 10 to 30 °C | 10 to 30 °C | 10 to 30 °C | 10 to 30 °C | 10 to 30 °C | 10 to 30 °C |
| 电源 | AC 220/110 V | AC 220/110 V | AC 220/110 V | AC 220/110 V | AC 220/110 V | AC 220/110 V | AC 220/110 V | AC 220/110 V | AC 220/110 V | AC 220/110 V |