2024年10月31日消息,国家知识产权局信息显示,拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请一项名为“钝化设备以及断面钝化方法”的专利,公开号 CN 118841479 A,申请日期为 2024年6月。
专利摘要显示,本申请提供了一种钝化设备以及断面钝化方法,涉及半导体或光伏材料加工领域,解决了传统的钝化设备生产效率低的技术问题。该钝化设备,应用于片状材料的钝化工艺,包括:工艺腔体,具有工艺腔室,工艺腔室被配置为容纳料盒组件,料盒组件被配置为承载片状材料,工艺腔室的一部分形成钝化区域,且钝化区域沿第一方向延伸设置;至少一组喷气组件,设置于工艺腔室内,被配置为向钝化区域喷射工艺气体工艺腔动力组件至少部分设置于工艺腔室内被配置为驱动料盒组件在钝化区域内沿第一方向往复运动。由于料盒组件在钝化区域内做往复运动可以使片状材料镀多层膜,缩短了工艺时间,从而提升了生产效率。
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