黄河光伏测试背钝化和RIE技术 提升单多晶电池转换效率

黄河光伏日前宣布经过技术研发部经过近一年的技术攻关，公司在单晶和多晶高效电池技术研发方面取得了突破性的进展。通过采用氧化铝背钝化工艺，单晶电池转换效率达到了18.95%。多晶电池通过采用反应离子刻蚀(RIE)工艺，电池平均转换效率比过去提升了0.5%，最高效率达到17.90%。

黄河光伏的背钝化工艺采用原子层沉积(ALD)或等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺在硅片背面形成氧化铝膜层，然后再在该膜的基础上生长一层氮化硅膜进行保护。通过在背钝化膜层采用激光开孔工艺，结合背钝化铝浆和相匹配的烧结工艺，通过降低背面复合速率，提高该开路电压实现单晶电池转换效率的提升。

多晶硅高效电池采用了RIE制绒技术，在多晶硅片制绒后使用等离子体在硅片表面进行轰击刻蚀，使硅片表面形成微小绒面，从而达到降低硅片表面光反射的目的，由于多晶硅电池对光的吸收增强，短路电流提高，电池转换效率因此提高。

黄河光伏称公司项目组紧紧跟踪国内外光伏领域最新生产技术工艺发展动向，精心制定了研发方案和技术路线。研发人员五次赴武汉帝尔激光和湖北仙桃弘元光伏公司进行相关匹配试验。其中帝尔激光生产有专用于背面开孔的激光设备。

黄河光伏还在声明中强调将在后期新项目建设中使用这些技术，促进转换效率提高。