如何分辨硅片的等级分类及标准？

(注：①每家硅片企业的标准都不一样，仅供参考 ，②以下标准针对的硅片厚度为220μm。)

一、优等品

1：硅片表面光滑洁净。

2：TV：220±20μm。

3：几何尺寸：

边长125±0.5mm;对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm;

边长103±0.5mm、对角135±0.5mm;

边长150±0.5mm、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。

同心度：任意两个弧的弦长之差≤1mm。

垂直度：任意两边的夹角：90°±0.3。

二、合格品

一级品：

1：表面有少许污渍、轻微线痕。

2：220±20μm ≤TV≤220±30μm。

3：几何尺寸：

边长125±0.5mm;对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm;

边长103±0.5mm、对角135±0.5mm;

边长150±0.5mm、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。

同心度：任意两个弧的弦长之差≤1.2mm。

垂直度：任意两边的夹角：90°±0.5,cheap radii shoes。

二级品：

1：表面有少许污渍、线痕、凹痕，轻微崩边。

2： 220±30μm ≤TV≤220±40μm。

3：凹痕：硅片表面凹痕之和≤30μm。

4：崩边范围：崩边口不是三角形状，崩边口长度≤1mm，深度≤0.5mm

5：几何尺寸：

边长125±0.52mm;对角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm;

边长103±0.52mm、对角135±0.52mm;

边长150±0.52mm、156±0.52mm、对角203±0.52mm、200±0.52mm。

同心度：任意两个弧的弦长之差≤1.5mm。

垂直度：任意两边的夹角：90°±0.8。

三级品：

1：表面有油污但硅片颜色不发黑，有线痕和硅落现象。

2：220±40μm ≤TV≤220±60μm。

3：硅落：整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。

三、不合格品

严重线痕、厚薄片：TV>220±60μm。

崩边片：有缺损但可以改Φ103的硅片。

气孔片：硅片中间有穿孔。

外形片：切方滚圆未能磨出的硅片。

倒角片(同心度)：任意两个弧的弦长之差>1.5mm。

菱形片(垂直度)：任意两边的夹角>90°±0.8。

凹痕片：硅片两面凹痕之和>30μm。

脏片：硅片表面有严重污渍且发黄发黑。

尺寸偏差片：几何尺寸超过二级品的范围。