最大观察样品:Ø300 mm晶片

观察倍率15X～3000X（视目镜和物镜的组合而定）；

使用CFI60光学系统，彻底消除耀斑影响，对比度更高，成象更加清晰、明亮；

物镜齐焦距为60mm，可以兼顾高数值孔径和长工作距离两方面的要求；

主机刚性高，具有很好的抗振性能，具有防尘、防污染、防静电功能；

光亮调节、孔径调节、物镜转换等操作都集中在前面，使用方便，即使长期操作也不易产生疲劳