硅片-电池片PL检测系统

本系统主要用于扩散后硅片到电池片PL检测，检出制程中的缺陷。采用高精度相机对硅片，电池片进行缺陷检测，并与自动化设备通讯，实现不合格品的检出功能。本系统可以实现对工艺制程的优化，提高产线良率，降低人力需求。
      1. 设备结构小巧，采用非接触连续性检测，易于集成到产线上

2. 测试范围⼴阔，可测P-N结后各阶段的样品，直到电池片成品

3. 成像均匀，图片清晰度高

4. 检测速度快，不影响产线产能