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多晶硅生产过程中副产物四氯化硅（STC）转化为三氯氢硅（TCS），目前有两种技术：高温低压热氢化、低温高压冷氢化。前者技术成熟；后者是当今能耗最低、成本最小的STC转化为TCS的工艺技术，是未来多晶硅的发展方向。今天的《冷氢化技术综述（上）》与大家分享冷氢化方面的知识。
