技术总结:
钙钛矿/晶硅叠层电池代表性结构和制备方法:
钙钛矿技术路线呈现多样性,湿法、干法+湿法、干法三种技术路线。
①一步溶液法:目前积极引入其他工艺等帮助效率提升,比如引入蒸镀设备做缓冲层。
②干法+湿法两步法:
第一步使用真空蒸镀形成干法制膜,
第二步使用溶液法再干法制膜基础上形成液态薄膜,两步法将来可以更好的兼容与晶硅叠层的技术路线
③干法工艺:成膜质量角度干法的厚度和均匀性较好,干法成膜速度相比湿法要慢一些,不影响最重要的产量节拍。
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钙钛矿技术路线呈现多样性,湿法、干法+湿法、干法三种技术路线。①一步溶液法:目前积极引入其他工艺等帮助效率提升,比如引入蒸镀设备做缓冲层。②干法+湿法两步法;第一步使用真空蒸镀形成干法制膜,第二步使用溶液法再干法制膜基础上形成液态薄膜,两步法将来可以更好的兼容与晶硅叠层的技术路线;③干法工艺:成膜质量角度干法的厚度和均匀性较好,干法成膜速度相比湿法要慢一些,不影响最重要的产量节拍。