高效太阳能电池表界面钝化及钙钛矿叠层技术展望

技术总结：

钙钛矿/晶硅叠层电池代表性结构和制备方法：

钙钛矿技术路线呈现多样性，湿法、干法+湿法、干法三种技术路线。

①一步溶液法：目前积极引入其他工艺等帮助效率提升，比如引入蒸镀设备做缓冲层。

②干法+湿法两步法：

第一步使用真空蒸镀形成干法制膜，

第二步使用溶液法再干法制膜基础上形成液态薄膜，两步法将来可以更好的兼容与晶硅叠层的技术路线

③干法工艺：成膜质量角度干法的厚度和均匀性较好，干法成膜速度相比湿法要慢一些，不影响最重要的产量节拍。