国内首台！晶洲装备TOPCon大产能碱抛刻蚀清洗设备成功下线

近日，由晶洲装备自主研发生产的国内首台量产型单槽6花篮大产能碱抛刻蚀清洗设备在晶洲智能装备生产基地成功下线，该设备适用于TOPCon和PERC太阳能电池的湿法碱抛工艺，顺利发往客户端。

据了解，本次晶洲下线的碱抛刻蚀清洗设备采用单槽6花篮设计，每小时产能14400片，极大改善了链式去BSG或PSG+碱抛设备工序的产能瓶颈;该设备采用多项晶洲自主研发的独创设计，在提升设备产能的同时，降低设备单耗、能耗，提升工艺稳定性。

独创的防带液串槽设计：采用新型槽体结构，工艺兼容性强，可收集花篮70%的带液量，最大程度减少不同的药水串槽，避免药水交叉污染，降低单耗，提升药水使用寿命，在清洗能力、洁净度、工艺稳定性方面表现非常优秀。

独创的槽体循环设计：行业独创V型底板，更有利于彻底排空废液，提升槽体换液洁净度，提升药水寿命。反应槽采用第三代分布式盘管循环系统，使药水循环快速平稳，减少槽体上、中、下三层液面温差，改善了因循环和剧烈反应导致的花篮出片现象，大幅度降低大尺寸硅片的粘片概率，在硅片外观、减重和反射率的均匀性方面表现优异。

晶洲装备是中国高端湿制程装备及工艺技术综合解决方案提供商，业务涉及太阳能光伏、平板显示、半导体等多个领域。公司自2018年开始布局TOPCon电池湿法工艺设备，2021年在TOPCon电池湿法领域全面突破，实现批量交付并通过验证，已交付设备涵盖制绒清洗机、去BSP清洗机、去PSG清洗机、碱抛刻蚀清洗机、去绕度RCA清洗机等湿法主工艺设备。