光伏技术|真空泵维修的详细过程

1. ADS 602H真空泵示意图

2. 操作手柄

① 监控界面介绍

770H→真空泵运行时间用于泵维护时的时间记录;

REM→真空泵在远程监控 ，如显示LOC，表示本地控制状态;

ADP POWER→ADP泵功率;

PRESSURE→排气口附近气压;

ADP TEMP→ADP泵温度;

N2 FLOW→N2流量;

② 功能菜单介绍

SET 参数设置键按该键可以进入参数设置菜单或者退出各菜单;

“+/-”键 选择键按该键可移动到前一个或后一菜单，也可以调整参数的数值;

ENTER 设置确认键按该键可以对选择的菜单,设置.参数进行确认;

3. 真空泵硬件介绍

① 信号灯及急停按钮

绿灯表示正常运转;

黄灯表示警告状态，机器仍可继续运转;

红灯表示警报错误状态，机器不能运转;

② 真空泵的接口

a. 急停(EMO)短接头及J14远程控制接口

b. J6与J7为RS232与RS485通讯接口，通过它们可以与PC建立通讯连接;

③ 主电源线

主电源线接头的1，2，3号接线端子分别接三根相线，6号端子接地，当真空泵出现反转时，调换1，2，3号端子中的任何两个端子的接线即可。

④ 冷却水及N2压力表

a. 流量计背后为水流量传感器，冷却水流量需要达到80L/H;

b. 冷却压力要求：

提供的冷却水压力需要达到 3 bar – 7 bar(绝对压力)。同时确保进水口和出水口，压差至少在2 bar以上，冷却水温度为 10 – 25 ℃。

水流量计，可在开机时调节水流量，此泵也配置了流量开关，一旦水流量低于15 l/h，泵会自动报警。

c. N2压力要求：

泵的N2压力也需要达到3 bar – 7 bar(绝对压力)，而每台泵都配置了压力表，调节阀以及氮气质量流量计，可根据工艺来调节N2的实际流量。

d. 水管及N2接口

⑤ 真空泵冷却系统

a. 冷却系统示意图

b. 冷却水三通阀，下图打开状态为正常状态，控制着罗茨泵电机的冷却水管路。

c. 冷却水电磁阀

当ADP泵温度高于设定温度时阀门打开，ADP设置温度一般为100摄氏度;

当ADP泵温度下降到低于ADP设置温度值两摄氏度时阀门关闭;

⑥ 真空泵氮气吹扫系统

a. N2吹扫管路示意图

b. N2流量计及N2管道

作用：检测吹扫真空泵的氮气的流量，单位L/MIN;

银白色不锈钢管为氮气吹扫管道，总管又分出六路支管道通入机械泵内，对泵进行吹扫，防止反应气体形成SiN，导致泵卡死。

⑦ 真空泵润滑系统

a. 泵油加注位置示意图

此泵有三处加油孔，其中罗茨泵有两处，ADP泵有一处;

当泵油泛黄甚至变黑时需更换新的真空泵油;

该泵使用的泵油为Alcatel A113 合成油正常情况下，泵油一年换一次;

b. 正常油位示意图，换油时，油位加到观察孔的一半高度;

⑧ 电气控制系统

a. 电控柜元件分布图

b. 变压器

作用：为控制单元M4提供低电压;

c. 接触器&断路器示意图

⑨ 控制系统

a. Alcatel 干泵M4电控箱中各传感器的连接位置

b. 控制单元M4示意图

上图为真空泵输入信号线与输出控制线的接口，通过这些接线端子控制单元对泵体进行监测与控制;

4. 控制系统主要选项设定

① 真空泵设置菜单主要有：

DEFINITION→选项设定

SETING→参数设置

MAINTENANCE→维护保养

MANAGEMENT→管理

OPERATING →TIME

LAST WARNING→警告记录

LAST ALARM→警报记录

② 基本选项设定

按SET” —“DEFINITION MENU” —“ENTER”键

LANGUAGE (语言选择)：ENGLISH

SYSTEM SELECT(系统选择)：ADS 602

AUTO START(自动启动)：DISABLED(禁用、不激活)

ROOTS CMD(罗茨泵单独启动命令)：DISABLED，此设定表示在启动ADP泵的时候自动启动罗茨泵;

PURGE CMD(气体吹扫单独启动命令)：DISABLED，此设定表示真空泵在运行时进行不间断吹扫;

N2 STANDBY(2)(N2 待机)：DISABLED(不激活);

③ 主要参数设定

按“SET”— “SETTING” —“ENTER”键

PURGE WARNING(only with MFS)吹扫报警：35slm;

ADP TEMPERATURE(ADP泵温度);

INPUT VALUE(输入值)：100℃;

ALARM THRESHOULD :120℃;

ADP POWER SENSOR(ADP泵功率检测);

WARNING threshold :3500W;

ALARM threshold: 5000W;

5. Alcatel 干泵的常见故障排除

① ADP功率报警可能原因：

电机转向不正确;

瓦特计(功率计)W1故障;

电控箱M4故障;

功率报警值设置不正确;

干泵机械故障;

排气管堵塞;

② 冷却水报警可能原因：

冷却水供给不够;

冷却电磁阀故障;

冷却水漏水;

电控箱M4故障;

水流量报警值设置不正确;

冷却水管堵塞或泄漏;

水流量开关故障;

③ 氮气流量报警可能原因：

氮气供给不足;

氮气阀故障;

氮气报警值设置不正确;

氮气管道有泄漏;

氮气质量流量计故障或未连接;

电控箱M4故障;

④ 真空泵温度过高(低)报警可能原因：

温度控制电磁阀故障;

温度控制电磁阀接线未连接或接线故障;

冷却水流量不足;

电控箱M4故障;

ADP Temp.传感器故障;

ADP Temp.传感器未连接;