TOPCon，他是这么做的

3月23日，由江苏省生产力促进协会及江苏省工业和信息化厅组织的中来光电“高效N型TOPCon双面光伏电池”科技成果暨新产品鉴定会议在泰州天德湖酒店成功召开。本次会议上，中来光电技术研发负责人陈嘉博士对近期中来光电在新一代N型TOPCon双面电池关键技术上取得的重大突破向鉴定委员会专家进行详细介绍，由浙江大学杨德仁院士担任主任，江苏大学丁建宁校长担任副主任以及近十位专家组成的专家委员对中来提报的科技成果及新产品进行了评审。经过充分的讨论及质询，鉴定委员会专家们一致认为，中来光电POPAID技术实现了N型TOPCon电池核心结构中的隧穿氧化层、掺杂多晶硅层的单工序沉积，在行业内首次将无绕镀单面沉积原位掺杂多晶硅层技术应用于钝化接触核心结构的制备，使得TOPCon电池的制备流程大幅度缩减，解决了N型TOPCon电池生产化过程中制造成本偏高、工艺复杂、良率偏低等难题，并且实现了TOPCon电池全产业链装备的国产化，对行业内新型高效电池技术的推广应用是一次重大贡献，本项目产品及主要技术指标达到国际先进水平。

去年10月，中来对外宣布最新研发结果出炉，基于新一代隧穿氧化层和无绕镀原位掺杂非晶硅沉积的钝化接触技术制造的J-TOPCon 2.0电池，其量产平均效率可以实现24%以上，良率达到97%以上。

最新资料显示，中来J-TOPCon 2.0电池其量产效率实现了从23.8%到24.5%的跨越性的提升。

中来TOPCon 1.0制造工艺和技术是基于N 型硅片，通过隧穿氧化层和掺杂多晶硅实现钝化接触，大幅度提高电池效率。经过多年研发和生产调试，中来量产效率虽然达到了世界领先的23.5%+，但是由于隧穿氧化层通过高温氧化， LPCVD沉积非晶硅，离子注入掺磷，并经高温退火，多晶硅绕镀清洗等多道工序完成。相比于PERC电池量产，生产成本和良率是长期困扰的难题。

此次J-TOPCon 2.0新技术是与江苏杰太光电技术有限公司合作，利用其独创的线性等离子源技术，共同开发了一套全新的POPAID技术 (Plasma Oxidation & Plasma Assisted Insitu-doping Deposition)，等离子氧化及等离子辅助原位掺杂技术。POPAID利用链式平台传输载板，能够在不破真空情况下同时完成隧穿氧化和掺杂非晶硅沉积，真正做到无绕镀。POPAID技术是全新的中国创新概念和技术，他是在光伏电池制造领域难得的中国原创、世界领先的镀膜概念。

POPAID设备上实现了多项创新工艺，其中等离子氧化硅的形成(PO)对表面没有损伤、而且镀膜厚度在0.1nm精度范围，真正实现了亚纳米镀膜工艺控制。和常规高温氧化相比，隧穿钝化效果更加优越。达到表面钝化和接触选择性同时提升的效果，均匀性更佳。对于掺杂非晶硅镀膜(PAID)工艺，该设备采用等离子强化的镀膜工艺，实现掺杂的非晶硅膜沉积，退火后掺杂浓度可高达4×1020原子/cm3，是常规离子注入浓度的一倍以上。经两道工艺的整合，J-TOPCon 2.0电池效率超过常规离子注入0.2%以上，开路电压(Voc)，填充因子(FF)均有提升。良率也可提高2%。

POPAID装备技术使一台设备可以替代现有管式高温氧化、管式LPCVD，离子注入去绕镀清洗四道工序的四台设备，量产设备产能达到8000片/小时。

由于利用POPAID 技术使原来TOPCon 12道制造工序缩短到9道工序。这不仅提升电池效率，而且提升生产良率和降低生产成本，可跟高效PERC电池工艺流程相媲美。可以说，J-TOPCon 2.0为新一代高效TOPCon电池的量产推广铺平了道路，这是对TOPCon技术的一次革命性贡献。

中来光电的“JW-HD144N组件”使用了中来最新自主研发的N型J-TOPCon2.0电池，该电池片采用M10大尺寸硅片，功率可以达到570W，温度系数为-0.32%/℃，首年衰减1%，年度衰减0.4%。相比常规P型组件具有更低的温度系数，这意味着在高温环境中，相比常规P型组件，TOPCon组件会高出2-3%发电量。JW-HT144N组件的双面率可达到80%，比常规P型双面组件高出5%左右，这也增强了它的发电量、发电效率。在发电量上，TOPCon具有更强的单瓦发电能力。由于温度系数低，衰减低，双面率更高等优势，相同功率的TOPCon组件较P型双面组件有4-6%的发电增益。