江苏微导黎微明:ALD可大幅降低PERC生产成本，减少衰减

9月5日，由中国光伏行业协会主办，索比光伏网、智新研究院承办的2019中国国际光伏技术论坛(CITPV)在杭州举行。在电池结构及制备工艺的分论坛上，江苏微导纳米装备科技有限公司CTO黎微明指出，ALD正逐步取代PECVD成为主流钝化技术，降低了PERC生产成本。

效率衰减一直是单晶PERC电池产品亟待解决的问题，面对高效PERC电池市场的渐激烈竞争，黎微明指出，原子层沉积技术以其优异的钝化效果，稳定的量产性能，近年在高效PERC电池生产取得了飞速的发展，并且在当前多种技术路线中生产成本最低，以微导为代表的国产尖端装备更是在高效PERC电池量产发挥出重大作用。

据黎微明介绍，在目前主流量产技术的PERC电池中，微导推出的全新单面钝化镀膜臭氧新工艺方案，可以将量产效率提高0.1%，背膜产能提升20%，单机产能提升近一倍，超过10000片/小时，进一步降低了氧化铝工序的生产成本。

他指出，与现有的PECVD背钝化工艺相比，采用微导专利的ALD镀膜技术的PERC电池在抗LeTID方面具有更加优异的性能。ALD和PECVD镀膜技术在降低LeTID衰减中的有着明显不同的表现，根据黎微明的分析，其原因在于ALD 三氧化二铝薄膜具有高质量，致密无针孔的特性，可以有效阻挡氮化硅薄膜中的氢原子向电池内部的扩散，从而减少LeTID衰减。而PECVD氧化铝薄膜由于存在较多缺陷和针孔，无法阻挡氢原子向电池内部的扩散，因而无法避免由SiNx:H造成的LeTID衰减。黎微明表示，这个发现在组件产品的长期稳定性能方面显然具有重要意义。

据光伏组件PID抗老化测试显示，在高温、高湿和高电压条件下，组件玻璃中钠离子的扩散对电池结构的破坏是影响组件抗PID性能的重要因素之一，改进组件封装材料是目前解决PID问题的有效途径之一，然而采用特殊封装材料必然带来组件成本的提升。黎微明表示，通过微导和新南威尔士大学共同开发的专利技术处理的PERC电池，可做到无PID衰减。“原子层沉积技术早在上世纪八十年代就作为钠离子阻挡层，大量用于以碱玻璃为材料的电发光显示器的产业化生产上，其主要原因就是ALD薄膜具有致密性高无针孔的材料特性，因此我对ALD在PERC电池上的抗PID性能并不感到惊奇。我们正在联合微导客户和合作单位，加快相关技术的产业化，推动采用ALD技术的抗PID电池尽快投入市场。”

微导成立于2015年底，从2016年上半年开始正式投入运作。截至去年，微导ALD设备市场占有率达到80%。目前，有超过20家电池厂商采用微导的ALD设备及技术，累计出货超过140多台。数据显示，微导总装机量在全球背钝化部分是全球第一，现在总装机量已经接近40GW。

文章作者：韩哲