摘要： 归纳总结了单晶硅片表面玷污杂质的来源和分类、清洗检验的工艺和清洗检验的设备，并对单晶硅清洗检验的发展趋势进行了分析。
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摘要： 归纳总结了单晶硅片表面玷污杂质的来源和分类、清洗检验的工艺和清洗检验的设备，并对单晶硅清洗检验的发展趋势进行了分析。
