京运通多晶硅定向生长凝固炉获能源进步奖

近日，国家能源局2010年度国家能源科学技术进步奖评审结果出炉，由北京京运通科技股份有限公司报送的《JZ-460/660多晶硅定向生长凝固炉》研究成果获得国家能源科学技术进步三等奖。

据了解JZ-460/660多晶硅定向生长凝固炉采用国内先进技术，改良生产工艺，产品设计创新，技术领先，安全可靠，质量稳定；装料量大，提高了产能；更趋完善的设计使温场合理，提高良品率；硅液溢流自动保护措施确保设备安全性；应用CP与PLC等控技术，实现全程自动；参数自动存储结合多种控制模式，增强设备可控性.工艺技术方案要具有先进性和实用性，同时具备良好的安全性和经济合理性.该产品在单台产能、装料数量、硅锭尺寸、热场控制等方面均超过国外产品。该项炉型的一次性投料将可达460～660KG，此设备在一次性投料重量等指标方面达到世界先进水平，该投料重量水平对于节省单位多晶硅锭能耗具有重要意义。

本成果主要创新内容：

1.多晶硅炉传动系统利用三个结实的丝杠连接下腔室和上腔室。挠性的驱动电缆使3个丝杠作同步运动。一个大的直流电机驱动着丝杠上下运动，以打开和关闭下腔室。上腔室顶部有与挠性驱动电缆相连的3个滑动组件，能够上下移动隔热层以便控制硅锭的长晶过程。(ZL200820080641.2)

2.热场控制热场用4个石墨板形成一个“正方形”的加热器，使用加热元件周围隔热层较平坦的元件隔热。在不锈钢笼里有两层隔热介质，由3个隔热层提升杆支撑不锈钢笼。3个石墨杆从下腔室支撑巨大的石墨块。3个提升杆能上下提升隔热笼，露出DS-Block底部，从而冷却下腔室的四壁。这样热场内就形成了一个竖直的温度梯度使硅锭从熔体底部向顶部开始长晶。

3.硅液溢流自动保护技术在下炉盖保温材料上部设置不锈钢传感器线，在意外情况下，硅液流出坩埚，从下面隔热层的开口处流到下面腔室地板上的保护铝垫上，硅液会熔化铝垫上的不锈钢传感器线，系统自动报警，并实施保护。被鉴处于国际先进水平。

4.SCR控制器调节主变压器初级绕组的电压SCR控制器采用这样的方式控制SCR：按一定的设定功率比，接通和断开SCR的功率控制器。例如：设定功率比为30％，在30％的时间内完全接通SCR控制器，在剩下70％的时间内断开SCR控制器。一般情况下，整个控制循环的设定时间为4秒，所以SCR控制器在1.2秒内接通，在2.8秒内断开，然后重复这个循环。这种控制能显著地提高功率的转换系数和整个系统的有效功率。

北京京运通科技股份有限公司成立于2002年8月8日，并于2008年10月31日改制为股份有限公司，注册资金3.7亿元人民币，公司总资产达17亿元人民币，是我国真空晶体生长设备（包括软轴单晶炉、多晶硅铸锭炉、区熔炉、多晶硅还原炉等）研发制造于一体的专业生产厂家。