晶盛机电单晶硅生长炉新品研制成功

晶盛机电TDR130A-ZJS全自动单晶硅生长炉产品研制成功，为“TDR*-ZJS型全自动晶体生长炉”系列产品再添新丁。

8月29日晚，晶盛机电公告称，公司承担研制的国家科技重大专项《极大规模集成电路制造设备及成套工艺》中“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”课题的TDR130A-ZJS全自动单晶硅生长炉产品研制成功。

在该项目责任单位、国内著名的半导体硅材料研究和生产企业有研半导体材料股份有限公司的应用现场，首次实现在国产单晶炉设备上成功生长出目前国内最大的18英寸半导体级硅单晶棒，等径长度550mm。此单晶硅生长炉配置了32英寸热场，投料量达290Kg，创造了国内单晶硅生长炉之最。

晶盛机电称，此项课题的研究成功，标志着公司已掌握半导体级大直径硅单晶生长设备设计、制造的先进技术，并将继续保持国内全自动单晶硅生长炉技术的领先地位。以上全自动单晶炉公司已经开始步入产业化阶段，在形成产业化后预计将对公司业绩有积极影响。

据公告，“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”项目，公司已累计获得政府补贴共计980.5万元并已分别于2010年至2011年期间确认营业外收入。该项目目前已取得客户验收，预计将于年底接受国家专家组统一的项目验收，但验收成功尚存在不确定性。

资料显示，公司于2007年4月研发出国内首台全自动单晶硅生长炉产品，当年实现批量销售。此外，公司还研发出了TDR80A-ZJS、TDR80B-ZJS、TDR120A-ZJS、TDR100B-ZJS等型号的全自动单晶硅生长炉产品，不仅可以用于太阳能级单晶硅材料的制备，还可满足在均匀性和缺陷密度等方面要求更高的半导体行业客户需求，突破了国内高端晶体硅材料生长设备特别是大尺寸晶体硅材料生长设备长期被国外大型企业垄断的产业格局，实现了进口替代。

2012年1-6月，全自动单晶硅生长炉营业收入3.06亿元，占主营业务收入比为92.1%，毛利率达到了56%。

国泰君安研报认为，公司半导体晶体硅生长设备的生产经验使公司在高端产品上的优势较大，其产品自动化程度较高，可使拉晶速度和成品率分别提高30%和5%，降低电耗和人工成本分别超过20%和50%，在同行业中处于领先地位。此外，区熔炉与蓝宝石炉实现突破，将成为公司利润增长点，并预计区熔炉、蓝宝石炉业务将在2013年开始为公司贡献业绩。

8月29日，晶盛机电收报23.34元，涨0.65%。