硅烷化学气相沉积法是一种具有竞争力的多晶硅生产方法,其能耗及原料消耗指标达到国际先进水平。该方法实现了多晶硅生产工艺闭路循环,中间物料如四氯化硅、二氯二氢硅可循环利用,具有转化率高、能耗低、成本低、污染少等优点。
2012年7月,新能源分公司根据黄河公司批复,承担了硅烷法多晶硅生产工艺研究科技项目研究工作。一年来,新能源分公司按照项目责任书内容要求,派技术人员前往德国德累斯顿进行实地考察,详细了解了其工艺技术,并与德国施密德硅业科技公司进行了技术合作洽谈,针对硅烷法的技术特点,技术的可行性进行了深入地研讨。新能源分公司技术人员通过对硅烷制备和硅烷法生产多晶硅的主要技术的研究并结合新能源分公司现有多晶硅装置情况,对硅烷法的工艺物料、辅助系统、自控仪表、安全、三废处理、装置布置、人员配备、项目工期、操作模式和投资效益估算等进行了详细的研究,最终完成了硅烷法多晶硅生产工艺研究科研项目。
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