德国RENA近来收到PERC太阳能电池制造设备大订单。
德国光伏技术开发商RENA将向美国和印度客户发送PERC太阳能电池生产设备。该公司报告近来获得千万欧元大订单。
该公司声称结合BatchTex和InOxSide+工具,可使PERC电池效率进行优化。
RENA的BatchTex工具据称将超紧凑型工具设计与每小时6000块晶圆的高产出相结合。
该机器处理时间短,标准的碱性纹理时间低于12分钟。
该公司表示,凭借BatchTex清洁技术,客户可通过明确定义的棱锥尺寸(1至3μm 或2至5μm)运行质感工艺。通过将此工具与InOxSide+湿化学工具进行结合,可实现均匀平滑的背面。
InOxSide+提供单面蚀刻工艺,硬件调整以及改进的过程控制,可将蚀刻深度调整到不超过4μm。(文/Tina译)
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