近日,晶龙集团成功研发出单晶炉安全防爆装置,属国内首创。
单晶炉是生产单晶硅的主要设备,如果因意外情况导致冷却水泄露到单晶炉体内,炉体内的气压会急剧增高,轻则影响单晶炉运行稳定,重则可能引起爆炸。目前国内制造的单晶炉均未设计超压保护,存在很大安全隐患。晶龙集团开发的该装置可使冷却水汽化导致的高压快速降低,从而保障了单晶炉的工作安全性和使用寿命。日前,晶龙集团装有安全防爆装置的单晶炉已经投入批量生产,并获得国家专利。
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近日,晶龙集团成功研发出单晶炉安全防爆装置,属国内首创。 单晶炉是生产单晶硅的主要设备,如果因意外情况导致冷却