德国博世集团选用泽塔仪器公司的Zeta-200作为其三维成像与测量解决方案

加利福尼亚州,圣何塞市，2010年10月18日美国泽塔仪器公司(ZETA INSTRUMENTS，INC。)是一家业内领先的微细表面形貌测量仪器制造商。该公司今天宣布博世已选择Zeta-200™光学测量系统用来配备其位于德国斯图加特的高科技研发中心。作为全球领先的技术和服务供应商，博世选择泽塔的三维表面成像和测量解决方案，用来满足博世一系列研发活动中关键的测量需求，包括光电和MEMS（微电子机械系统）的研发。

Zeta-200显微镜系统采用泽塔的专利Z-点阵™技术。，它可以对高纵横比样品进行非接触、无损伤、快速三维成像，并且实现对台阶高度、粗糙度、尺寸、角度和体积的测量。由于它的非破坏性测量性能，用户能够快速高效地对高纵横比的表面特征进行测量和分析，从而加快对流体微通道制造工艺的开发和研究。Zeta-200也使得对高粗糙度、极低反射率的复杂表面的成像变得更加容易，这种特性在太阳能电池的研究和生产上发挥了积极的作用。

运用Z-点阵技术，Zeta光学系统能够对微细表面特征进行快速三维测量。在不到一分钟的时间，Zeta-200以精度高达15纳米的步距垂直扫描样品表面，在对样品进行Z轴精确量测的同时，提取X轴和Y轴的信息。大多数仪器在测量这些表面时会遇到困难，有的还需要复杂的校准和样品准备。与其它同类产品相比，Zeta-200是一种更易于使用的光学测量工具，需要较少的培训和系统维护，因此它为用户提供了更快、更好的解决方案。

“由于选用了Zeta-200，我们能够快速、可靠地测量我们的太阳能电池和MEMS结构，这为我们带来了更高的效率和更低的制造成本，” 博世公司硅太阳能电池研究中心的Thomas Wagner博士说：“我们评估了众多测量设备，最终毫无争议的选择了Zeta-200。这台仪器能够及时地为我们几个研究团队提供关键的测量数据，，从而帮助他们在各自领域里保持领先地位。”

与激光共聚焦显微镜相比，Zeta-200独特的应用软件和硬件组合具有更卓越的成像和测量功能。此外，Zeta-200还提供真彩色图像和优惠的价格。，其优化的整体设计确保了系统的易用性和低廉的维护成本。其它解决方案，比如干涉显微镜系统，需要对样品进行水平度调整它难以对例如微机电系统所使用的大深度特征样本进行有效测量。扫描电子显微镜（SEM）虽然可用于高精度成像，但是它不能提供真实的彩色图像。而且它需要时间制备样品这个过程往往会对样品造成损伤。

泽塔仪器公司的总裁Rusmin Kudinar表示：“Z-点阵技术具有对一系列难以测量复杂表面进行高精度成像和测量的优势，是太阳能电池和生物技术应用的理想测量工具。我们很高兴博世在同类产品中选择我们作为其最佳解决方案。同时我们也很荣幸能为他们提供所需的关键测量设备。”

泽塔系统的另一个独到之处是集多功能于一身。Zeta-200的可选功能包括：薄膜厚度测量；Nomarski/q-DIC成像、以及各种不同的样品载台。这些选项使用户能够测量透明薄膜样品，如防反射涂层、光阻和纳米级的超平滑表面，以及对样品在多个方向进行扫描测量。如需获取更多的关于Zeta-200的信息，请访问http://www.zeta-inst.com/contact。

关于博世
博世集团是汽车、工业技术、消费品和建筑技术市场上世界领先的技术及服务供应商。博世集团研究中心为博世的创新提供基础。博世研究中心的1300多名员工，在全球致力于前沿科技的研究，努力创造新专利，使产品更有效、更容易操作、更安全、更环保。欲了解更多信息，请访问http://researchinfo.bosch.com/

关于泽塔仪器
泽塔仪器公司是业内领先的微细表面形貌成像和测量解决方案供应商。泽塔的测量系统帮助绿色环保技术和生物医药产品制造商大幅提高产量和增强质量控制。其解决方案被广泛应用于微流体/生物技术、高亮度LED、太阳能电池、磁存储介质的开发和生产。泽塔是一家总部位于美国加利福尼亚州圣何塞市的私人控股公司。欲了解更多有关泽塔仪器及其产品，请访问www.zeta-inst.com

Z-点阵和Zeta-200是泽塔仪器公司的注册商标。

媒体联系人
Kristen Fuller
电话：650-796-4884
Kristen_fuller@sbcglobal.net

文章作者：索比太阳能