青海西宁：《高纯多晶硅提质降耗关键工艺技术研究》科技局成果评价

会上，与会专家及科技局成果处领导在审阅资料、听取项目组汇报的基础上，经过质询和讨论，一致认为项目组提供资料符合成果评价要求，项目在氢气回收纯度和节能降耗方面具有一定创新性。本项目通过对尾气回收系统运行参数和设备进行分析研究，提出了尾气回收设备工艺优化设计方案，并且通过对硅芯制备基料工艺研究，完善了高纯多晶硅硅芯的生产工艺和操作规程。通过项目实施，能够大幅提升回收氢气纯度，降低氢气生产单耗，增加氯硅烷回收量，并提高硅芯产品质量和生产效率。

专家委员会一致同意本项目通过成果评价，认为该成果达到国内领先水平，建议加强成果应用，进一步提高高纯多晶硅生产节能降耗水平。