江苏微导与泰州中来达成战略合作 微导RIE黑硅与ALD背钝化技术助力光伏电池效率突破20%

近日，泰州中来光电科技有限公司今日收到国家太阳能光伏产品质量监督检测中心(CPVT)的报告，报告显示：中来光电M2尺寸的N型IBC电池转换效率达22.22%，在可量产的IBC电池技术里面，处于行业领先地位。泰州中来光电科技有限公司总经理刘勇先生介绍说：“中来光电能获得如此卓越的成绩，离不开微导公司的ALD原子层沉积薄膜钝化技术的支持。”

隶属于先导集团的江苏微导纳米装备科技有限公司是一家年轻的科技公司，致力于为国内外的高科技行业提供最新最可靠的生产设备和解决方案。主要产品包括原子层沉积，化学气相沉积，以及反应离子刻蚀等设备，市场涵盖光伏、 半导体、柔性电子、传感器、显示和照明、以及锂离子电池等多个工业领域。微导专门为单、多晶高效太阳能电池技术提供高性能ALD钝化和RIE干法制绒生产解决方案。与传统的铝背场电池相比，微导光伏技术适用于多种高效晶硅太阳能电池生产线的新建、改造和升级, 可以将太阳能电池转换效率进一步提升1%以上。微导RIE黑硅与ALD背钝化技术的结合，为晶硅太阳能电池效率突破、降低成本提供最佳量产方案。

江苏微导纳米装备科技有限公司董事长王燕清先生指出：“从2016年下半年起，江苏微导联合中来光电在不到半年的时间内就完成了从设备试车，工艺验证到完成最终的N型高效电池量产评估等工作。”这次开发的用于太阳能电池表面钝化的设备经过数轮的技术攻关，单批次的硅片装载量达到了1600片，同时可以保持片内、片间的薄膜均匀性在2%以内，电池电学性能几乎一致的优异表现。在整机产能达到每小时4000片以上的前提下，可以有效的降低昂贵化学反应源的耗量，深度集成的自动化上下料确保了0.05%以下的碎片率，极大的降低了实际使用成本。其最核心的ALD原子层沉积工艺可以在薄膜厚度低至2纳米时依旧对电池表面提供良好的钝化，这是其它技术从原理上就无法达到的条件，在核心技术上达到了国际第一梯队的领先水平。

原子层沉积(AtomicLayer Deposition，ALD)技术是在纳米技术领域及其它多个重要产业领域中的一项具有前瞻与共性的新兴关键技术。现有的ALD量产技术都被国外的设备大厂如ASM、AMAT、TEL等垄断。微导正在开展的ALD设备产品技术性能达到国际领先水平，填补了国内空白。同时，ALD关键技术的成功攻关，将促进多个工业领域包括半导体、CMOS图像传感器、LED、MEMS、显示器、光伏和锂离子电池的产业化发展。据悉，微导公司的《基于原子层沉积(ALD)技术的微纳器件制造关键技术研发》项目，还入选了“2016年江苏省重点研发计划(产业前瞻与共性关键技术)项目”。

此外，微导专为解决金刚线多晶制绒难问题所开发的反应离子刻蚀(RIE)技术，经过一年多的开发和优化，于今年3月份在客户现场一次成功，实现第一片实验片反射率做到10%以下，首次金刚线多晶2800片实验平均效率做到19%以上，最高19.41%的好成绩。微导的干法制绒的设备成功突破产能极限，实现较传统RIE设备产能提高25%以上。此外，我们的铝合金腔体可确保长期使用不会生锈，更合理的内部设计大大降低了维护成本。再加上我们深度集成的自动化上下料系统确保了设备整体具有更高的稳定性、更低的碎片率以及更低的生产成本。有了这样一台具备Coo优势和效率优势的RIE设备，相信会让金刚线多晶技术如虎添翼，为客户带来更大的价值。

在不断增加的高效率、低成本晶硅太阳能电池市场需求驱动下, 微导为单、多晶高效太阳能电池技术提供高性能ALD钝化和RIE干法制绒生产解决方案。与传统的铝背场电池相比，微导光伏技术适用于多种高效晶硅太阳能电池生产线的新建、改造和升级, 可以将太阳能电池转换效率进一步提升1%以上。微导RIE黑硅与ALD背钝化技术的结合，为晶硅太阳能电池效率突破、降低成本提供最佳量产方案。