三公司联合开发面向薄膜光伏的ALD技术

导读： SmitOvens、SoLayTec和Solliance三家公司将合作开发一个联合研发项目，旨在将原子层沉积(ALD)与大面积衬底相结合，提供生产工具技术改进薄膜光伏组件包括CIGS的缓冲和势垒层沉积。

SmitOvens、SoLayTec和Solliance三家公司将合作开发一个联合研发项目，旨在将原子层沉积(ALD)与大面积衬底相结合，提供生产工具技术改进薄膜光伏组件包括CIGS的缓冲和势垒层沉积。

SoLayTec将会提供用于c-Si太阳能电池InPassion工具的ALD喷嘴头技术，SmitOvens将通过SollianceCIGS/CZTS项目扮演机器集成商和客户合同合作伙伴的角色。

过程开发工具也可用于改进下一代OLED显示器要求的薄膜晶体管(TFT)结构，并将有可能成为Solliance现有GIGS发展路线的一部分。

SmitOvens首席执行官WiroZijlmans表示，“我们对此次合作很高兴，因为它可以帮助我们同时达成两个战略目标。我们能够为现有客户提供先进的GIGS结晶缓冲层过程解决方案。此外，还可以利用干燥和烧结解决方案扩大我们在显示器市场的渗透率。”

“在首批晶体光伏产品成功上市后，我们现在能够采用已经经过证明的沉积技术迎接下一个市场机遇。”SoLayTec常务董事HuibHeezen也表示，“我们对能够与Smitovens这样的资深厂商合作感觉非常荣幸，这将帮助我们快速进入两家公司擅长的领域市场。”

尽管并未透露可能的市场进入时间尺度，三家公司都希望该项目将在更短的时间周期内推出一款生产就绪的工具。(Shirley译)